忽视定期擦拭的必要性
为确保洁净室及受控区域的质量，必须每日使用无尘布进行清洁维护。不当清洁会导致污染，进而影响终端产品质量。污染物主要分为薄膜状和颗粒状污染物，两者均能在微电子电路中引发严重缺陷。洁净室污染还会导致高额停机及生产成本。达到标准后，需定期清洁和维护以保持洁净度。
对策：以百级洁净室（Class 100）为例，每班次擦拭工作区域一次；每周全面擦拭墙壁、边角及其他表面；并执行每小时、每日或每周的其他维护，防止颗粒累积。

使用未折叠的平铺无尘布
不折叠使用无尘布不仅浪费，还可能将污染物扩散到整个表面，而非有效清除。
对策：将无尘布对折再对折，形成四分之一大小，利用多面清洁。手握折叠布未展开的两侧，用拇指和食指捏住边缘。用毕后按规程丢弃。

用一块无尘布擦拭整个区域
一块无尘布有效清洁面约为8次擦拭，使用过的面即视为污染，继续使用会扩散污染。擦拭应沿同一方向，每次重叠10%-25%。擦拭后翻转布面，确保使用未污染部分。用完所有折叠面后可重新折叠延长寿命。根据实际需要使用足够数量的擦拭布，清洁完成后按现场规程处理。

从脏/湿区域向干净/干燥区域擦拭
擦拭时应避免污染物扩散，先隔离泼洒物并用专用吸附材料控制污染源。洁净室擦拭应从洁净/干燥区向脏/湿区推进，切忌反向，以防污染扩散到已清洁区域。

以打圈方式擦拭
打圈擦拭会扩散颗粒和污染物，无论擦拭布如何折叠都无效。
对策：用力平行单向刮拭表面，擦拭后翻转布面，重叠约10%，确保表面无颗粒残留。

使用过干或过湿的擦拭布（非微湿布）
完全干燥的布可捕获部分污染物，但微湿状态效果最佳。过湿则会留下污浊残留物，需返工清洁，浪费时间成本。
对策：根据洁净室等级和规模选择适用擦拭布。小型低级洁净室可用干布配合独立清洁剂，避免瓶口接触布面减少交叉污染；大规模高等级洁净室建议使用预浸湿无尘布，直接使用更方便。

使用不适用于洁净室的擦拭布
洁净室等级不同，所需擦拭布也不同。半导体行业通常需用百级或十级无尘布，选型时应符合行业及法规标准。