描述
HT5760S 无尘擦拭布采用高强度纤维材料，结合耐用密封边设计和专有清洗工艺，专为半导体 28nm 以下晶圆厂及洁净服更衣区的小型表面及关键工装清洁而设计。其超声波宽边密封可在重度擦拭过程中显著降低纤维脱落，保证高洁净环境中关键表面不受二次污染。柔软耐用的布面不仅能高效去除顽固颗粒与污渍，还能保护晶圆接触面及高真空腔体等精密设备表面不被刮伤。
产品特点：
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高强度纤维材质，耐磨耐用
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超声波宽边密封，减少纤维脱落
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专有清洗工艺，低颗粒与低离子析出
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高效去除晶圆接触面及高真空腔体上的顽固颗粒与污渍
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柔软布面保护精密设备表面不受刮伤
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小尺寸设计，适用于微小表面和关键工装清洁
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兼容 ISO Class 3-5 和 EU Grade A-D 洁净室
应用范围 / 用途：
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半导体晶圆厂小型表面及关键工装清洁
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晶圆接触面及高真空腔体去污
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洁净服更衣区和高洁净区域清洁
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光学、电子及精密仪器微小表面擦拭
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高洁净室环境下的颗粒控制
产品参数：
| 参数 | 说明 |
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| 型号 | HT5760S |
| 尺寸 | 6″ x 6″ |
| 密封方式 | 宽边超声波密封 |
| 洁净室环境 | Class 1 – 100, EU Grade A – D, ISO Class 3 – 5 |
| 材质 | 高强度超细纤维 |
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