描述
HT5740S-40 无尘擦拭布采用高强度纤维材料,结合耐用宽边密封和专有清洗工艺,专为半导体 28nm 以下晶圆厂及洁净服更衣区的小型表面和关键工装清洁而设计。其超声波宽边密封可在重度擦拭过程中有效降低纤维脱落,保证高洁净环境中关键表面不受二次污染。柔软耐用的布面可高效去除晶圆接触面及高真空腔体上的顽固颗粒和污渍,同时保护微小精密设备表面不受刮伤。
产品特点:
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高强度纤维材质,耐磨耐用
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超声波宽边密封设计,降低纤维脱落
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专有清洗工艺,低颗粒与低离子析出
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高效剥离、捕获并去除晶圆接触面及高真空腔体的顽固颗粒和污渍
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柔软布面保护微小精密设备表面
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小尺寸设计,适用于微小表面和关键工装清洁
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兼容 ISO Class 3-5 和 EU Grade A-D 洁净室
应用范围 / 用途:
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半导体晶圆厂微小表面及关键工装清洁
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晶圆接触面及高真空腔体的颗粒和污渍清洁
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洁净服更衣区和高洁净环境区域清洁
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光学、电子及精密仪器微小表面擦拭
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高洁净室环境下的颗粒控制与残留物去除
产品参数:
| 参数 | 说明 |
|---|---|
| 型号 | HT5740S-40 |
| 尺寸 | 4″ x 4″ |
| 密封方式 | 宽边超声波密封 |
| 洁净室环境 | Class 1 – 100, EU Grade A – D, ISO Class 3 – 5 |
| 材质 | 高强度超细纤维 |






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