在半导体生产中,微小颗粒、灰尘和油污都可能对芯片制造、光刻和封装工艺造成严重影响。高洁净度和低污染的清洁材料是保障生产效率和产品良率的关键。IPA 预湿润无尘布以其高效去污、低粉尘、防静电及操作便捷的特点,成为半导体生产线清洁的必备工具。
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晶圆及光刻设备表面清洁
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IPA 预湿润无尘布可快速去除灰尘、微粒和油污,保护晶圆表面和光刻设备的洁净度。
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防静电设计减少静电吸附,避免颗粒污染晶圆。
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精密仪器和工装擦拭
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用于清洁掩膜、光罩、曝光设备及其他精密工装,去除微小颗粒和污染物,确保加工精度。
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低粉尘、低离子残留保护仪器和芯片不受污染。
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辅助设备与生产环境维护
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清洁生产线传送带、支架、控制面板及其他辅助设备,保持环境整洁,防止交叉污染。
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软质材质避免划伤设备表面,同时确保擦拭均匀。
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操作便捷与效率提升
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即开即用设计,无需二次浸湿或配制溶液,提高清洁效率。
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均匀湿润保证擦拭效果一致,适合高速生产线作业。
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特点总结
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高效去污,去除灰尘、微粒和油污;
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低粉尘、低离子残留,保护晶圆和精密仪器;
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防静电设计,减少静电吸附和颗粒污染;
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柔软材质,不刮伤设备和生产表面;
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即开即用,操作便捷,提高生产线清洁效率。
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应用范围
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半导体晶圆及光刻设备表面清洁;
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精密仪器、掩膜及工装擦拭;
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生产线传送带、支架、控制面板及辅助设备清洁;
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半导体生产环境日常维护及局部精细清洁。
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