描述
HT5790S-25 无尘擦拭布采用高强度纤维材质,结合耐用宽边密封设计和专有清洗工艺,专为半导体 28nm 以下晶圆厂中最严格的设备清洁需求而设计。适用于晶圆接触面及高真空腔体的清洁,能有效去除顽固颗粒和污渍。超声波宽边密封在重度擦拭过程中可减少纤维脱落,降低二次污染风险。专有清洗工艺确保在 ISO Class 3-5 洁净室中使用时,颗粒和离子析出量保持极低,同时布面柔软耐用,可保护精密设备表面不受刮伤。
产品特点:
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高强度纤维材质,耐磨耐用
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宽边超声波密封,降低纤维脱落
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专有清洗工艺,确保低颗粒与低离子析出
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高效去除晶圆接触面及高真空腔体上的顽固颗粒和污渍
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柔软布面保护精密设备表面
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适用于最严格的半导体设备清洁应用
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兼容 ISO Class 3-5 和 EU Grade A-D 洁净室
应用范围 / 用途:
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半导体晶圆厂设备清洁
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晶圆接触面及高真空腔体去除颗粒和污渍
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洁净服更衣区及高洁净环境区域
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光学、电子及精密仪器微小表面清洁
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高洁净室环境下颗粒控制与残留物去除
产品参数:
| 参数 | 说明 |
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| 型号 | HT5790S-25 |
| 尺寸 | 9″ x 9″ |
| 密封方式 | 宽边超声波密封 |
| 洁净室环境 | Class 1 – 100, EU Grade A – D, ISO Class 3 – 5 |
| 材质 | 高强度超细纤维 |






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