描述
HT5790S 超净擦拭布采用 MiraWIPE 高强度纤维,配备耐用的密封边缘,并经过专有清洗工艺处理,专为最严格的设备清洁应用而设计,适用于亚 28nm 制程晶圆厂。在这些环境中,表面必须完全无残留和颗粒污染。该擦拭布特别适用于去除晶圆接触面和高真空腔体上顽固附着的颗粒和污渍。超声波宽边封设计可在重度擦拭过程中有效减少纤维脱落。专有清洗工艺确保擦拭布可安全用于 ISO Class 3-5 级洁净室。
特点:
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高强度纤维材质,耐用且不易破损
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宽封边设计,减少纤维脱落
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专有清洗工艺,低残留,适合超净室使用
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适用于亚 28nm 晶圆厂及高要求清洁环境
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提高清洁效率,去除顽固颗粒和污渍
用途:
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超高洁净环境设备表面清洁
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晶圆接触面及高真空腔体擦拭
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去除顽固颗粒、油污和污染物
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半导体、微电子及精密仪器清洁
参数表:
| 产品型号 | 尺寸 | 边缘类型 | 洁净室环境 | 材质 | 特点 | 适用范围 |
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| HT5790S | 9″ x 9″ | 宽密封边 | Class 1 – 100, EU Grade A – D, ISO Class 3-5 | 高强度超净纤维 | 高强度、耐用、低残留、纤维少、超声波封边 | 晶圆厂设备、真空腔体、精密仪器表面 |





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